“沒(méi)錯(cuò)，成功了，只不過(guò)目前還是八英寸的晶圓培育，但是有個(gè)優(yōu)勢(shì)，那就是成本較低。”

    芯片需要的半導(dǎo)體硅晶圓，必須要雜質(zhì)含量極低，除此之外，還必須是指定的晶體結(jié)構(gòu)，必須是光學(xué)表面，并達(dá)到指定的電氣性能和對(duì)應(yīng)的相應(yīng)規(guī)格要求。

    當(dāng)周瑜穿著實(shí)驗(yàn)服進(jìn)入晶圓培育的實(shí)驗(yàn)室時(shí)，這位負(fù)責(zé)人一臉感慨。

    “純度高達(dá)99%的硅，它是一種我們稱(chēng)為多晶或者多晶硅的晶體結(jié)構(gòu)，為了能夠得到這個(gè)程度硅，我們花費(fèi)了五千萬(wàn)，才勉強(qiáng)搞定了設(shè)備問(wèn)題。

    董事長(zhǎng)您應(yīng)該也看過(guò)那些技術(shù)文件，應(yīng)該知道半導(dǎo)體晶圓是從晶棒上切割得來(lái)，而晶棒是從大塊具有多晶結(jié)構(gòu)和未摻雜的本征半導(dǎo)體生長(zhǎng)得來(lái)，搞到了原材料，我們找方法也是忙活了許久，后來(lái)還是一位剛畢業(yè)的碩士誤打誤撞找到了方法。”

    周瑜在李明偉感慨的時(shí)候，就透過(guò)觀察玻璃，看著實(shí)驗(yàn)室里面一位身影年輕的女性研究員在操作著設(shè)備。

    “設(shè)備的主體還是這個(gè)石英坩堝，由帶射頻波的線圈環(huán)繞來(lái)加熱，主要還是我們沒(méi)有穩(wěn)定的優(yōu)秀電流加熱器來(lái)進(jìn)行加熱。

    首先將多晶和摻雜物加熱到液態(tài)，接著將籽晶安置到剛接觸到液面，籽晶是具有和所需晶體相同晶向的小晶體，可由化學(xué)氣相的技術(shù)制造。

    還有工廠實(shí)際生產(chǎn)的話，也可以拿之前生長(zhǎng)的單晶重復(fù)使用，這就是直拉法。

    當(dāng)籽晶從熔融物中慢慢上升時(shí)，晶體生長(zhǎng)才剛剛開(kāi)始，籽晶和熔融物間的表面張力致使一層熔融物的薄膜附著到籽晶上然后冷卻。

    在冷卻過(guò)程中，在熔化的半導(dǎo)體材料的原子定向到籽晶一樣的晶體結(jié)構(gòu)，籽晶的定向在生長(zhǎng)的晶體中傳播。在熔融物中的摻雜原子進(jìn)入生長(zhǎng)的晶體中，生成N型或者P型這兩種晶體。

    您給出的文件當(dāng)中，國(guó)外實(shí)驗(yàn)室為了實(shí)現(xiàn)均勻摻雜、完美晶體和直徑控制，籽晶和坩堝在整個(gè)晶體生長(zhǎng)過(guò)程中以相反的方向旋轉(zhuǎn)，工藝控制需要一套復(fù)雜的反饋系統(tǒng)，綜合轉(zhuǎn)速、拉速及熔融物溫度參數(shù)。

    如果不是軟件工程部門(mén)和設(shè)備研發(fā)部門(mén)都派來(lái)工程師，以及您和其他工程師的幫助，我們根本研發(fā)不了這一套復(fù)雜的反饋系統(tǒng)。

    晶體只要是生長(zhǎng)的，就不可能是真的完美無(wú)缺的，但是在半導(dǎo)體器件中，晶體缺陷會(huì)引起有害的漏電流，會(huì)導(dǎo)致器件無(wú)法正常工作。

    所以我們還在開(kāi)發(fā)缺陷檢測(cè)系統(tǒng)。”