周瑜剛好在和一個(gè)實(shí)驗(yàn)室的團(tuán)隊(duì)討論技術(shù)。

    “基于穩(wěn)態(tài)微聚束原理，能獲得高功率、高重頻、窄帶寬的相干輻射光，波長(zhǎng)可覆蓋從太赫茲到極紫外波段，其中就包括了極深紫外線(xiàn)光刻機(jī)所需要的13.5納米波長(zhǎng)的EUV光。

    其實(shí)這個(gè)技術(shù)，咱們也不是唯一在搞研究的，青木大學(xué)有一位博士就有在研究這個(gè)技術(shù)，只不過(guò)他們并沒(méi)有專(zhuān)門(mén)向半導(dǎo)體光刻膠的光源方向上發(fā)展，而是在做理論研究和多方向的探索。

    只不過(guò)穩(wěn)態(tài)微聚束光源的潛在應(yīng)用之一就是作為未來(lái)EUV光刻機(jī)的光源，因?yàn)樵蹅兪菍?zhuān)研，所以咱們目前的研究進(jìn)度或許要比他們更前進(jìn)一點(diǎn)。”

    對(duì)于這點(diǎn)，周瑜倒是并沒(méi)有再開(kāi)玩笑。

    因?yàn)楦鶕?jù)前世的記憶，他知道這個(gè)教授的團(tuán)隊(duì)與德國(guó)的合作團(tuán)隊(duì)，大概要等到大夏陰歷2020年之后，才會(huì)在《自然》雜志上發(fā)表了《穩(wěn)態(tài)微聚束原理的實(shí)驗(yàn)演示》，報(bào)告穩(wěn)態(tài)微聚束的首個(gè)原理驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)。

    八年之后才會(huì)發(fā)表，現(xiàn)在對(duì)方可能連大型實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目的規(guī)劃都還沒(méi)有出來(lái)。

    怎么和他這個(gè)開(kāi)卷寫(xiě)答案的進(jìn)度比較？

    而后，就得知了這位鄒王振教授已經(jīng)到了研究大樓的信息。

    于是，在鄒王振教授們“歷經(jīng)了千辛萬(wàn)苦”之后，這才是見(jiàn)到了正主。

    周瑜與李賢審兩人，帶著幾位半導(dǎo)體工程師，在研究樓與其見(jiàn)面。

    在相互介紹之后，鄒王振教授握著周瑜的右手，主動(dòng)問(wèn)道。“周董事長(zhǎng)，貴公司對(duì)穩(wěn)態(tài)微聚束技術(shù)怎么看？”

    面對(duì)這個(gè)問(wèn)題，雖然周瑜也可以讓最新招聘到的光學(xué)教授和其他工程師們來(lái)回答，但是在看到面前老人眼中的光亮?xí)r，他選擇了自己回應(yīng)。

    看了看四周，沒(méi)有額外人員，他微笑著對(duì)這位教授回道：“相比于目前阿斯麥公司的光刻機(jī)所使用的極紫外光技術(shù)，咱們的光學(xué)團(tuán)隊(duì)都一致認(rèn)為穩(wěn)態(tài)微聚束是一種更理想的光源，原因在于后者具有更高的平均功率、更高的芯片產(chǎn)量，以及更低的單位成本。

    利用激光等離子體產(chǎn)生極紫外光源，將強(qiáng)激光脈沖投射到液態(tài)錫滴上。

    激光會(huì)粉碎液態(tài)錫滴，在撞擊過(guò)程中產(chǎn)生極紫外脈沖光，并在經(jīng)過(guò)復(fù)雜的濾波和聚焦后，產(chǎn)生功率約250瓦的極紫外光源。

    而在到達(dá)芯片之前，這極紫外光束要經(jīng)過(guò)11個(gè)鏡子的反射，每個(gè)鏡子都會(huì)損失30%的能量，因此光束到達(dá)晶圓時(shí)的功率小于五瓦。

    雖然現(xiàn)在看這個(gè)光源制造十納米制程的芯片，可以說(shuō)是手到擒來(lái)，只要技術(shù)規(guī)格和設(shè)備精度達(dá)到了，很快就能夠制造出來(lái)。