“看好這個材料表，雖然不是EUV紫極外光的光刻膠，但你們看清楚這個配方，萘基、二甲基锍三氟甲磺酸鹽、二羥基、二甲基锍三氟甲磺酸鹽、二苯基锍三氟甲磺酸鹽……

    首先我們先嘗試將phs樹脂、光致產酸劑、交聯劑、流平劑和溶劑混合，攪拌溶解后，經孔徑為/μm的微孔濾膜過濾器過濾，得到光刻膠。

    純度肯定不行，現在又不是讓我們將純度最高的最好最優秀的光刻膠做出來！

    現在我們需要的是能夠做，能夠填飽肚子！連UV光刻膠都造不出來，還想造EUV紫極外光的光刻膠？做夢！

    看到沒有，前烘的溫度為80-110℃，前烘的時間大致為40-80s；所述曝光的能量為100-400msec；所述后烘的溫度為80-110℃，后烘的時間為40-80s；所述顯影的顯影液為質量分數％的四甲基氫氧化銨水溶液，顯影的時間為60s。

    與夏芯國際跟我們提供的光刻膠對比，這個技術配比的光刻膠確實有一部分增益效果，交聯劑的添加量為-％，駐波效應得到改善，特別是交聯劑的添加量為0.5％時駐波效應改善最明顯，效果最好。

    不過這個添加劑的量必須要嚴格光控，每一毫克都不能夠出問題！

    既要保證得到圖形的成膜強度，又要減小交聯程度，更要減小顯影液浸泡光刻膠側面由過曝光和欠曝光帶來的差異。

    這個附圖上面的批注和說明有問題，是誰先寫上去的？”

    楊剛省在周瑜面前，是一個溫文爾雅的有識之士，技術中年人。

    但是在進入研發狀態，帶團隊進行光刻膠研發的時候，就像是一個實驗室暴君，每天不是在噴人，就是在教育人的路上，甚至還有年齡比較小的研究人員被他給訓哭。

    “哭？男子漢大丈夫，哭起來像個娘們！你手抖得都不會加材料了！浪費了材料，你去賠損失嗎？！

    知道錯了，就去改！”

    “誰洗的玻璃管？！你是碩士沒畢業嗎？連個玻璃管都刷洗不干凈，是想我帶你回去讀書嗎？丟我的臉！”