周瑜剛好在和一個實驗室的團隊討論技術。

    “基于穩(wěn)態(tài)微聚束原理，能獲得高功率、高重頻、窄帶寬的相干輻射光，波長可覆蓋從太赫茲到極紫外波段，其中就包括了極深紫外線光刻機所需要的13.5納米波長的EUV光。

    其實這個技術，咱們也不是唯一在搞研究的，青木大學有一位博士就有在研究這個技術，只不過他們并沒有專門向半導體光刻膠的光源方向上發(fā)展，而是在做理論研究和多方向的探索。

    只不過穩(wěn)態(tài)微聚束光源的潛在應用之一就是作為未來EUV光刻機的光源，因為咱們是專研，所以咱們目前的研究進度或許要比他們更前進一點。”

    對于這點，周瑜倒是并沒有再開玩笑。

    因為根據(jù)前世的記憶，他知道這個教授的團隊與德國的合作團隊，大概要等到大夏陰歷2020年之后，才會在《自然》雜志上發(fā)表了《穩(wěn)態(tài)微聚束原理的實驗演示》，報告穩(wěn)態(tài)微聚束的首個原理驗證實驗。

    八年之后才會發(fā)表，現(xiàn)在對方可能連大型實驗項目的規(guī)劃都還沒有出來。

    怎么和他這個開卷寫答案的進度比較？

    而后，就得知了這位鄒王振教授已經(jīng)到了研究大樓的信息。

    于是，在鄒王振教授們“歷經(jīng)了千辛萬苦”之后，這才是見到了正主。

    周瑜與李賢審兩人，帶著幾位半導體工程師，在研究樓與其見面。

    在相互介紹之后，鄒王振教授握著周瑜的右手，主動問道。“周董事長，貴公司對穩(wěn)態(tài)微聚束技術怎么看？”

    面對這個問題，雖然周瑜也可以讓最新招聘到的光學教授和其他工程師們來回答，但是在看到面前老人眼中的光亮時，他選擇了自己回應。

    看了看四周，沒有額外人員，他微笑著對這位教授回道：“相比于目前阿斯麥公司的光刻機所使用的極紫外光技術，咱們的光學團隊都一致認為穩(wěn)態(tài)微聚束是一種更理想的光源，原因在于后者具有更高的平均功率、更高的芯片產(chǎn)量，以及更低的單位成本。

    利用激光等離子體產(chǎn)生極紫外光源，將強激光脈沖投射到液態(tài)錫滴上。

    激光會粉碎液態(tài)錫滴，在撞擊過程中產(chǎn)生極紫外脈沖光，并在經(jīng)過復雜的濾波和聚焦后，產(chǎn)生功率約250瓦的極紫外光源。

    而在到達芯片之前，這極紫外光束要經(jīng)過11個鏡子的反射，每個鏡子都會損失30%的能量，因此光束到達晶圓時的功率小于五瓦。

    雖然現(xiàn)在看這個光源制造十納米制程的芯片，可以說是手到擒來，只要技術規(guī)格和設備精度達到了，很快就能夠制造出來。